江 涌，黄新华，吴澜尔，陆有军
(北方民族大学，宁夏 银川 750021)
摘 要：以制备可用电火花加工的氮化硅基陶瓷材料为目的，用ZrN-TiN作为导电相，以Y2O3、La2O3、AlN作为烧结助剂，在1750 ℃无压烧结Si3N4-TiZrN2-TiN复合导电陶瓷。测试了试样的烧结特性、机械性能及导电性能，用XRD和SEM分析表征了试样的物相和显微结构。其结果为：相对密度接近98％；试样的机械性能良好，抗弯强度可达到960 MPa，显微硬度为14.7 GPa，断裂韧性为7.6 MPa·m1/2；试样的电阻率由单相氮化硅陶瓷的1013 Ω·cm降低到复合导电陶瓷的10-2 Ω·cm数量级，可用电火花进行加工。物相分析表明，试样中生成了TiZrN2新物相，形成了Si3N4-TiZrN2-TiN复合导电陶瓷。显微分析表明，试样中的三种晶粒均在2 μm以下，具有相互结合紧密且分布较均匀的显微结构。
关键词：Si3N4-TiZrN2-TiN；复合导电陶瓷；导电相；电阻率