劳子轩，胡跃辉，陈义川，范建彬，帅伟强，童帆

(景德镇陶瓷大学机械电子工程学院，江西 景德镇，333403)

摘 要：采用溶胶凝胶法在石英衬底上制备了Mg-Al共掺的ZnO薄膜，研究了不同旋涂层数对ZnO薄膜微观结构、表面形貌以及光学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)、PL光致发光光谱仪对样品进行了表征与测试。实验结果表明：Mg-Al共掺后的ZnO薄膜均呈现六角纤锌矿结构且沿C轴择优取向生长，薄膜层数的增加能够有效提升薄膜的结晶质量。同时Mg-Al共掺杂能够极大地拓宽ZnO薄膜在近红外光谱域的光透过率，平均透过率超过85%。

关键词：溶胶凝胶法；Mg-Al共掺杂；ZnO薄膜；光学性能