关春龙1，秦 越1,2，易 剑2，虞锦洪2，江 南2
(1. 河南工业大学 材料科学与工程学院，河南 郑州 450007；2. 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所，浙江 宁波 315201)
摘 要：通过改变甲烷浓度、热丝功率、热丝丝距以及沉积时间等参数，利用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺，在β-碳化硅(β-SiC)粉末上沉积了一层纳米金刚石(ND)涂层，制备了ND@SiC复合粉末导热填料，并利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、透射电子显微镜以及热重分析等，对所得填料进行了表征。结果表明，SiC粉末表面涂覆了一层纳米金刚石涂层，形成了ND@SiC结构；当沉积参数为甲烷浓度5%、热丝功率4×1000 W、热丝丝距8 mm，沉积时间2×3 h时，制备的ND@SiC复合粉末具有理想的显微结构，复合粉末中金刚石的含量占粉体总重量的9.31%。
关键词：纳米金刚石；碳化硅；热丝化学气相沉积；导热填料