肖 飞，许壮志，薛 健，张 挽，岳 鑫
(辽宁省轻工科学研究院有限公司，辽宁 沈阳 110036)

摘 要：本文以自制氮化硅粉体为主要原料，通过高压成型、气压烧结工艺制备出致密的氮化硅陶瓷。考察了烧结温度、气体压力对氮化硅微观结构和相对密度、硬度的影响。采用XRD、SEM等测试手段对样品结构进行了表征，结果表明氮化硅气压烧结属于液相烧结，烧结温度在1400 ℃时开始出现液相，α相开始向β相转变，1600 ℃基本转变完全。在1-3 MPa范围内，提高N2压力有利于烧结致密化。在1800 ℃保温2 h、3 MPa压力下样品相对密度为99.41%，抗弯强度达960 MPa。
关键词：氮化硅；气压烧结；烧结温度；气体压力