缪彦美1，子光平1，应飞飞1，王 侃1，吴绍华2
(1. 云南驰宏国际锗业有限公司，云南 曲靖 655011；2. 云南北方驰宏光电有限公司，云南 昆明 650223)
摘 要：采用化学气相沉积(CVD)法成功制备了红外材料硫化锌(ZnS)，利用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅里叶红外光谱仪(FTIR)对ZnS样品的组分、相结构、表面形貌和光学性能进行表征分析。研究结果表明：沉积温度较低时，ZnS为立方结构，随着沉积温度升高，有少量六方结构ZnS生成；ZnS中原子比Zn/S大于1，Zn原子含量随沉积温度的升高逐渐减少，提高沉积温度可抑制ZnH2的生成，过高的沉积温度则降低了ZnS的光学性能；沉积温度为620 ℃时，ZnS表面微孔少，光学性能良好。
关键词：化学气相沉积法；硫化锌；沉积温度