范丽琴
（厦门工学院，福建 厦门 341021）
摘 要：利用射频反应磁控溅射法在玻璃基片上制备Al薄膜，并在Al膜的表面镀上一层AZO薄膜，通过在Al膜表面镀上一层薄的AZO薄膜以提高其稳定性。并研究AZO/Al/glass双层膜的光电性能，以及Al薄膜层厚度对薄膜光电性能的影响。实验结果表明，当铝膜厚度为7 nm时，AZO/Al/glass双层膜品质因子最佳，为26.68×10-6 Ω -1，此时方块电阻最低，为500 Ω/sq，可见光区的平均透过率最高，为64.95%。
关键词：掺铝氧化锌；磁控溅射；光电学性质