冯 果1，包 义1，江伟辉1, 2, 3，刘健敏 1，张 权 1，吴 倩 1，苗立锋1
(1.景德镇陶瓷大学国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心，江西 景德镇 333001；2.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院，
江西 景德镇 333403；3.江西省先进陶瓷材料重点实验室, 江西 景德镇 333001)
摘 要：本文分别采用非水解溶胶-凝胶法和柠檬酸辅助溶胶-凝胶法于750 ℃在碳化硅基片上制备了钛酸铝薄膜。借助XRD和FE-SEM对制得的薄膜进行了表征，借助FT-IR对两种钛酸铝薄膜制备工艺的溶胶-凝胶转变过程进行了研究。研究发现：非水解溶胶-凝胶法和柠檬酸辅助溶胶-凝胶法均能于750 ℃低温在碳化硅基片上制备出均匀、致密、无缺陷的钛酸铝薄膜。非水解溶胶-凝胶工艺的溶胶-凝胶转变过程为：无水三氯化铝和四氯化钛与醇反应生成氯代铝醇盐和氯代钛醇盐，并形成溶胶，两者再在薄膜的110 ℃干燥的过程中发生非水解缩聚反应转变为含Al-O-Ti键合的凝胶。柠檬酸辅助溶胶-凝胶工艺的溶胶-凝胶转变过程为：铝、钛前驱体在柠檬酸的抑制作用下，先分别水解至中间产物的极性不足以进一步水解，并形成溶胶，水解中间产物再在薄膜110 ℃干燥的过程中进一步发生非水解缩聚反应转变为含Al-O-Ti键合的凝胶。
关键词：钛酸铝；薄膜；非水解溶胶-凝胶法；柠檬酸辅助溶胶-凝胶法；溶胶-凝胶转变过程