范丽琴

（华侨大学厦门工学院，福建 厦门 341027）

摘 要：通过射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备AZO薄膜，研究膜层厚度对AZO薄膜光电特性的影响。发现随着膜层厚度的增加，AZO薄膜在可见光区的平均透射率略微增长，而方块电阻和电阻率却显著递减，导致其品质因子随厚度增加而增加。在薄膜厚度为395 nm时，获得电阻率为3.24×10^-3 Ωcm，可见光区平均透射率为85.52%，品质因子为25.52×10^-4 Ω^-1的光电性能良好的透明导电薄膜。本文制备的薄膜具有较优的透明导电性，可以广泛应用于太阳能电池、平板显示器等光电领域。

关键词：透明导电膜；掺铝氧化锌；磁控溅射；光电学性质