崔景慧1，李强1，夏金锋2，冯涛2
(1. 华东师范大学化学系，上海200241；2.中国科学院上海硅酸盐研究所，上海201800)
摘要：半导体金属氧化物传感器广泛应用于气体的检测，而影响气体传感器的气敏特性的因素主要有灵敏性、选择性、稳定性、响应时间和重复性等。灵敏性是气体传感器的最主要性能指标，成为有关传感器的研究热点。实验研究表明，气体传感器的灵敏性与传感器感应膜的表面反应有关。主要介绍了影响传感器灵敏性的主要因素，如化学组成、表面改性、感应膜的微观结构、温度和湿度等。
关键词：金属氧化物；气体传感器；灵敏性