贾军， 耿冉， 唐彬彬， 孙泽玉， 韩克清， 余木火
（东华大学材料学院纤维材料改性国家重点实验室，上海201620）
摘要: 利用无机物硼酸、蔗糖、八水合氧氯化锆、柠檬酸为原料，聚乙烯醇为助剂，利用液相前驱体法制备出二硼化锆前驱体溶液，并制得前驱体薄膜，在1600℃下裂解制得ZrB2 陶瓷薄膜。扫描电镜及EDS，孔径分布结果显示，制得的前驱体膜较为光滑且陶瓷薄膜致密, 存在少量小于5nm 的微孔。XRD 及元素分析结果表明制得了较为纯净ZrB2 陶瓷膜，当中存在一些碳元素，主要是由于不充分的碳热还原反应。
关键词: 二硼化锆；前驱体；薄膜；烧结