涂越1，李强1，蒋丹宇2
（1.华东师范大学化学系，上海200062 2.中国科学院上海硅酸盐研究所，上海200050）
摘要：WO3 作为氢敏材料而具有优良的传感性能，目前广泛地应用于氢气传感器研究中。本文介绍了WO3 氢气传感器的工作原理，以及近几年WO3 氢气传感器的研究进展，主要介绍WO3 气敏薄膜的制备方法，包括电沉积法、蒸发法、溅射法、溶胶- 凝胶法等，并讨论了今后WO3 氢气传感器的研究方向。
关键词：WO3；氢气传感器；溶胶- 凝胶法；电沉积法；蒸发法；溅射法