刘保岭 1,王 歆 1,庄志强 1,陆裕东 1，2
(1.华南理工大学材料学院, 特种功能材料教育部重点实验室, 广州: 510640)
( 2.信息产业部电子第五研究所, 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室, 广州: 510610)
摘 要: 以氢氧化钡、硝酸铅为原料,己二胺四乙酸、柠檬酸和酒石酸为复合螯合剂,水为溶剂制备铅酸钡前驱液,采用改进的 Sol- Gel 技术, 成功的在 PZT 基片上制备出 0- 3型铅酸钡厚膜。SEM 电镜照片显示, 铅酸钡厚膜均匀一致, 无裂痕, 晶粒大小为 1- 2μm。厚膜的方阻值随着浆料中固相质量含量的增加而减小, 并且随着厚膜厚度的增加, 粉体固相含量的影响逐渐减小, 不同固相含量的厚膜方阻逐渐趋于一致。以厚膜为上下电极的 PZT 具有较好的介电性能。
关键词: 铅酸钡, 厚膜, 溶胶凝胶, 旋涂, 介电