李新起, 闫肖萌, 方俊武, 董斌超, 高朋召
(湖南大学材料科学与工程学院, 长沙: 410082)
摘 要: 综述了近 10 年无机膜的制备工艺、改性及成膜机理方面的研究进展。制备工艺包括溶胶 - 凝胶法、化学气相沉积法、阳极氧化法、磁控溅射法、喷雾热分解法等。成膜机理主要包括化学或物理过程以及相应的数学模型。
关键词: 无机膜, 制备工艺, 成膜机理