曾传卿

（中国工程物理研究院总体工程研究所，四川绵阳：621900）

摘 要: 新型固态氢气传感器将新颖的氢化金属薄膜与带微热板的微机电（MEMS）系统结构相结合。微热板结构通过硅表面微加工制作，产生带有嵌入式加热器并与衬底绝热的悬置平台。涂覆钯保护层的稀土金属薄膜淀积在这个结构上，用作主动氢气敏感层。当敏感元件暴露在氢气中时，这两层的电阻变化就是传感器的输出。对空气中0.25%氢气的响应时间为亚秒（低于 1s）。可测量低于200ppm 的氢气浓度。传感器的上升时间和下降时间取决于微热板的有效温度，且随加热器功率的增加而变短。上述结果表明，该器件满足微量氢气测量的敏感需求。

关键词: MEMS，微热板，氢化金属膜，稀土金属膜