韦其红¹ 赵振华² 付兴华¹ 侯文萍¹

( 1.济南大学材料科学与工程学院, 250022; 2.济南市城建材料开发服务中心, 250032)

摘要: 用醋酸盐和钛酸酯为原料，采用Sol-Gel工艺在Pt/TiO₂/SiO₂/Si基片上制备出Ba_0.5Sr_0.5TiO₃（BST）铁电薄膜，然后在650-800℃下对BST 薄膜进行退火，研究退火温度对钛酸锶钡铁电薄膜的影响。X 射线衍射分析表明：退火温度在750℃以上时，B ST 薄膜转变成较为完整的ABO₃型钙钛矿结构；SEM 分析表明：750℃热处理的薄膜颗粒较大，且颗粒生长较好；阻抗分析仪测试表明：750℃退火处理的薄膜介电性能最佳；TEM 分析表明：750℃晶粒发育完善、清晰，晶粒与晶粒之间比较紧密，且存在微畴区域。

关键词: BST，退火，X射线衍射，介频谱