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RF- PCVD 法制备纳米碳化钨微晶的研究

展红全 孙彦平

(景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院，333001)

摘要: 采用高频等离子体化学气相沉积法（ RF- PCVD），以WCl6+C2H2+H2 的反应体系来制备纳米碳化钨微晶，实验制得了粒径小于100nm ，平均粒径为50nm 的纳米碳化钨微晶样品。理论分析和实验结果都表明：RF- PCVD 法制备的碳化钨样品比较复杂，含有WC,W2C,WC1- x 等三种碳化钨。其中WC 的硬度较高，而W2C,WC1- x 的催化活性较好。

关键词：高频等离子体, 化学气相沉积法, 纳米, WC, W2C, WC1- x


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2006.02.005

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