李锦桥
（浙江长兴益丰特种陶瓷窑业有限公司）
摘 要：介绍了ITO 陶瓷靶烧结工艺用电炉的研制过程论述了其安全性解决方案、关键材料的选择、压力容器的设计要点。该电炉为国内首台高压纯氧烧结电炉。
关键词：ITO烧结靶纯氧高温电炉