张勤俭， 吴春丽， 李 敏， 张勤河， 秦 勇， 毕进子， 张建华
（山东大学∗同济大学）
摘 要：应用人工神经网络建立了激光－等离子体辅助化学气相沉积（LPCVD）工艺参数与Si3N4 薄膜显微硬度的关系。并运用遗传算法优化出了最佳工艺。
关键词：激光－等离子体辅助化学气相沉积Si3N4 薄膜人工神经网络遗传算法