于长凤1 朱小平1 张脉官2 凌青3 戴静1
( 1.景德镇陶瓷学院,333001;2.广东佛山金刚新材料所,528000;3.苏州国巨电子,21500)
摘要： 采用溶胶凝胶法制备透明导电膜, 并考察了sb的掺杂量、热处理温度对薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响。在SnO2掺杂1.0%(wt)Sb能显著提高薄膜的电导性, 制得的透明导电膜表面电阻率最低为p = 16 x l0-3Ω·cm,且薄膜的连续性、致密性好,透光率达到90%以上。
关键词: 掺杂Sb,SnO2薄膜, 透明导电膜, 导电性