臭氧发生器用AlN 陶瓷基板材料的研究-期刊杂志社

过刊浏览

臭氧发生器用AlN 陶瓷基板材料的研究

刘维良　吴坚强　陈云霞　汪有良

（景德镇陶瓷学院）

摘　要:为了提高臭氧发生器的臭氧产量要求臭氧发生器用的陶瓷基板材料具有较高的介电性能和热导率。本文研究了掺杂成分CaO、Y₂O₃、YF₃、（YCa）F₃对臭氧发生器用AlN 陶瓷基板材料的相对密度、热导率、介电常数、介质损耗等性能的影响。采用XRD 分析其物相和SEM 观察其显微结构结果表明掺杂成分对改善陶瓷基板材料性能的作用大小依次排列为：（YCa）F₃＞YF₃＞Y₂O₃＞CaO最适合的掺杂配方是：（YCa）F₃₃．0wt％YF₃₂．0wt％Y₂O₃1．0wt％CaO1．0wt％。

关键词:AlN 陶瓷陶瓷基板臭氧发生器

DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2001.03.014

【查看全文】已下载次

打印收藏导出BibTex文件导出EndNote文件导出XML文件

上一条：微波陶瓷在高阻带低损耗介质滤波器上的应用研究

下一条：采用GPS＋HIP 生产工艺制造Si3N4基陶瓷刀片