李文广，何敏瑜，方慧雯，芦伟，汪卫华
(安徽大学 物质科学与信息技术研究院，安徽 合肥 230601)

摘  要：采用低沸点酯类和铒的羧酸盐制备前驱体溶液(MOD前驱体)，用金属有机分解法在RAFM钢基体表面上制备氧化铒阻氚涂层，并对前驱体溶液的成膜过程进行了同步热分析(TG-DSC)。通过SEM、EDS、XRD对涂层显微结构进行分析。结果表明，MOD前驱体分解生成涂层过程，主要包括溶剂蒸发、大分子物质的挥发与反应及金属有机物的分解。并且蒸发与分解阶段，分别伴随有水解和结晶过程。铒盐质量分数对涂层的微观结构影响较大。当铒质量分数为2.3 wt.%时，可以完全覆盖在基体表面，形成完整致密的涂层，获得较高的阻氚因子。当热处理温度过高时，涂层易产生裂纹。热处理温度为600 ℃时最佳。制备的Er₂O₃涂层有较好的耐电化学腐蚀性能和致密性，以及良好的膜基结合力。采用超高阻微电流测试仪测量Er₂O₃涂层的常温电阻率为3.4×10⁹ Ω·cm，满足聚变堆初步设计的要求。
关键词：金属有机分解；氧化铒；阻氚涂层；前驱体