傅维宁，江旭鹏，尹荣，龙神峰，韦婷婷，蓝峥，王琦，关英文，徐华蕊，张秀云，张坚，朱归胜
(桂林电子科技大学 材料科学与工程学院 广西电子信息材料构效关系重点实验室 电子信息材料与器件教育部工程研究中心，广西 桂林 541004)

摘   要：采用两步冷烧结工艺(TS-CSP)在300 ℃超低温度下制备了高密度的铝掺杂氧化锌(AZO)陶瓷。采用XRD、密度测试仪、SEM、四探针测试系统等对AZO陶瓷的物相、相对密度、微观结构和电学性能进行了测试及表征。结果表明，Al掺杂量对AZO陶瓷的结构与性能有重要影响。当Al₂O₃掺杂量为2.0wt.%时，可制备出无杂相、结构致密、电学性能良好的AZO陶瓷，经退火处理后其相对密度高达99.46%，电阻率低至3.43 × 10⁻³ Ω·cm。该方法制备的AZO陶瓷具有重要的应用前景。
关键词：铝掺杂氧化锌；两步冷烧结；电阻率；致密化过程