刘振华¹，弋社峰¹，孟权印²，姬  帅²

(1. 金堆城钼业股份有限公司，陕西 西安 710077；2. 西安石油大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 710065)

摘  要：钼基陶瓷材料因其优异的性能，在储能、光电探测、电催化、生物传感等领域广泛应用，成为当前高温与微纳功能材料的核心研究对象。本文系统总结了钼硼化物、三氧化钼、二硫化钼三种钼基陶瓷的晶体结构、常用的制备工艺和应用领域，同时还对比了高温高压、选择性刻蚀、水热法、CVD、PVD等合成路线的优劣，此外还介绍了各体系中存在的技术难题：MBene的铝层刻蚀工艺不成熟、规模化生产困难，性能研究多存在于理论模拟，缺乏实验验证；MoO₃氧空位生成与动态演化机制还不明确，现有的表征手段无法区分体相和表面缺陷，高浓度氧空位容易引发晶格畸变、变色响应速率偏低；MoS₂的载流子迁移率、带隙性能逊于硅基材料，小尺寸器件存在电学和应变缺陷，层间晶格失配、纳米片生物毒性等问题。最后，针对上述问题，本文提出解决思路，为后续钼基陶瓷缺陷工程、异质结构构筑与原位表征技术开发提供参考。

关键词：钼硼化物；MoO₃；MoS₂；选择性刻蚀；氧空位