朱小平¹，于长凤¹ ，凌青^3,2 ，张脉官³，戴静¹
( 1.景德镇陶瓷学院 333001；2.苏州国巨电子 215000；3.广东佛山金刚新材料所 528000)

摘  要：将SnCl₂·2H₂O和SbCl₃ 分别溶解于乙醇中, 搅拌至完全溶解, 以不同的 Sb/Sb 混合制备得到溶胶后, 分别采用浸渍提拉、喷涂、旋涂工艺制备透明导电膜, 并考察了不同制备工艺及热处理温度对膜的厚度、薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响, 运用 XRD、SEM、TEM对所制备的透明导电膜进行了分析表征。
关键词：SnO₂ 薄膜, Sb 掺杂, 透明导电膜, 浸渍提拉, 喷涂, 旋涂