吴玉厚^1,2，沙 勇²，李颂华^1,2，孙 健²，王 浩²
(1. 沈阳建筑大学 高档石材数控加工装备与技术国家地方联合工程实验室，辽宁 沈阳 110168;2. 沈阳建筑大学 机械工程学院，辽宁 沈阳 110168)

摘 要：为了实现高效的精密磨削，探究了磨削力对氮化硅陶瓷表面质量的影响和亚表面损伤。通过理论分析，在高效磨削的基础上进行单一因素实验，利用粗糙度仪测量表面粗糙度并利用扫描电镜观察表面形貌。结果表明：磨削力与单颗磨粒去除材料的体积相关；比磨削能在60-70 J/mm³ 且切向磨削力在10-60 N 之间，容易获得较好的表面质量；增大磨削深度比、增大砂轮线速度和工件进给速度更容易产生裂纹，磨削深度在5-15 μm 之间适用于氮化硅陶瓷精密磨削。
关键词：氮化硅陶瓷；磨削力；表面粗糙度；表面形貌