陈俊¹ ，胡跃辉² ，胡鸿豪³ ，张效华⁴ ，陈义川⁵ ，陈新华

（景德镇陶瓷学院机械电子工程学院，江西景德镇333000）

摘要：采用溶胶- 凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌（ZnO:Sn）透明导电薄膜，研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响。采用X 射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外- 可见光光度计（UV- VIS）和四探针法等分析方法对ZnO:Sn 薄膜进行分析表征，结果表明：在300℃温度下干燥10min 后，在700℃空气中退火1h 制备出的ZnO:Sn 薄膜表面平整，具有c 轴择优取向，平均透过率达到92%以上，电阻率仅为13.6Ω·cm。

关键词：透明氧化物半导体；ZnO 薄膜; Sn 掺杂; 溶胶- 凝胶法