唐惠东¹ ，孙媛媛²， 李龙珠³ ，谭寿洪⁴

（1.常州工程职业技术学院材料工程技术系，江苏常州213164；2.中国科学院上海硅酸盐研究所，上海200050）

摘要：利用射频磁控溅射法，在SSiC 陶瓷表面沉积一层无定形Si- C- O- N 涂层，测试了抛光后的涂层和SSiC 陶瓷在不同波段的反射率情况。结果表明：在软X 射线波段，涂层的反射率小于SSiC 陶瓷；在EUV 波段，者反射率基本相当；在UV- VIS- NIR 波段，涂层的反射率优于SSiC 陶瓷。这主要归因于表面粗糙度和涂层中氧元素对反射率共同作用的结果。

关键词：Si- C- O- N 涂层；软X 射线；EUV；UV- VIS- NIR；反射率