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SnO₂ 基CO /CH₄ 气敏元件的研究

张小水,肜建娜,王利利,祁明锋,娄巧云

（郑州炜盛电子科技有限公司，河南郑州：450001）


摘  要: 以溶胶凝胶法合成的SnO2 纳米粉体为基料，制备了平面厚膜 CO/CH4 气敏元件。实验研究了配方中添加有机硅化合物和稀土材料、加热器阻值对元件性能的影响。结果表明：通过控制合适的条件，可使元件对 CO 和 CH4气体都有很好的灵敏度，且 CO和CH4 气体之间不存在相互干扰现象。

关键词: SnO2，纳米粉体，CO/CH4 气敏元件，平面厚膜工艺


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2008.03.019

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