雷廷平 1, 施云波 2, 3, 赵文杰 1, 李赞 4, 王立权 2
(1.哈尔滨理工大学应用科学学学院，哈尔滨：150080；2.哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院，哈尔滨：150080；3.哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站，哈尔滨：150001；
4.哈尔滨学院生命科学与化学学院，哈尔滨：150086)
摘 要: 本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料，采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌，并通过红外、紫外光谱对其进行了表征。在 SiO2 基片上，利用 MEMS 微加工技术制造了敏感电极，采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜。气敏测试结果表明:该传感器对氯气有较理想的灵敏特性。
关键词: 全氯取代酞菁锌，表征，气敏性