乙烯气敏元件的研制

张海峰 ¹,刘奎学 ¹,陈丽华 ¹,全宝富 ²

（1.集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春：130012；

2.吉林大学电子科学与工程学院，长春：130012）

摘 要: 以溶胶- 凝胶法制得 SnO₂ 纳米晶粉体，在制得的材料中加入多种掺杂剂后涂敷于旁热式陶瓷管表面制成元件进行测试，发现加入 10%TiO₂、1%Sb₂O₃ 和 1.5%AgNO₃ ( 质量分数）的材料制成的元件在加热电流为 120mA（约 250℃）时对 10×10^-6(V/V)的乙烯气体有较高的灵敏度、较好的选择性和较快的响应恢复特性。

关键词: SnO₂，乙烯，气体传感器