张小水 1,范子亮 1,阎玉卿 2 ,王利利 1,吴志敏 3

（1.郑州炜盛电子科技有限公司，河南郑州：450001;2.河南汉威电子股份有限公司，河南郑州：450001; 3.郑州创威煤安科技有限公司，河南郑州：450001）

摘  要: 通过掺杂法制得一系列不同Re₂O₇掺杂量的WO₃粉体，测试了元件的气敏性能。研究发现：适量掺杂 Re₂O₇，不仅可以显著降低WO₃的电阻值，而且有利于提高WO₃纳米材料对VOCs 气体的灵敏度，其中掺杂量为 6 ％( 质量分数) 的烧结型气敏元件在 300℃下对VOCs 有较高的灵敏度和选择性，是一种气敏性能很好的 VOCs 气敏元件。

关键词: 三氧化钨 ，七氧化二铼 ，VOCs，气敏特性