赵文杰 1 ,施云波 2，3 ,修德滨 3 ,雷廷平 1 ,冯侨华 3,王立权 2
（1、哈尔滨理工大学应用科学学院，哈尔滨：150080；
2、哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站，哈尔滨：150001；
3、哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院，哈尔滨：150080）
摘 要: 以检测Cl₂ 为目标，采用恒温化学共沉积法合成了 In-Nb 复合半导体氧化物，并研究了其气体传感器的制作方法，分析了 In-Nb 气敏材料的微观特性和敏感特性，探讨了气敏机理。实验证明，In-Nb 材料具有良好的Cl₂ 敏感特性。
关键词: In2O3，Nb2O5，气敏特性，氯气传感器