谭晓媛

(赣南师范大学 化学化工学院，江西 赣州 341000)

摘 要：为优化氮化硅陶瓷滚子化学机械复合抛光技术工艺参数，得到高性能氮化硅陶瓷滚子。通过改变抛光机主轴转速及磁流变抛光液温度，探究各参数对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙的影响，并获得各参数对表面粗糙度的影响曲线。总结对应影响规律，结果表明：随着主轴转速的增大，氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度逐渐减小，且变化率逐渐减小；当其他条件不变时，磁流变抛光液温度对氮化硅陶瓷滚子表面粗糙度影响不大，保持在0.035 μm 左右。

关键词：氮化硅陶瓷滚子；化学机械；复合抛光；粗糙度