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氮化硅陶瓷的烧结技术及其应用进展

秦笑威1, 2,谢志鹏2,姚依旦3,雷辉聪1, 2,范彬彬1, 2

(1. 景德镇陶瓷大学,江西 景德镇 333403;2. 清华大学 材料学院,北京 100084;3. 天通吉成机器技术有限公司,浙江 嘉兴 314400)

摘  要:氮化硅陶瓷因其具备优异的力学、热学、生物学特性而成为最具应用前景的先进陶瓷材料。论述了氮化硅陶瓷制备工艺中最关键的烧结技术,对各种烧结技术的原理和优缺点进行分析。结合氮化硅陶瓷材料的最新发展动态,综述了氮化硅作为高强度高韧性结构陶瓷在航空航天、国防军工领域和高导热与透波功能陶瓷在半导体封装领域及生物相容性良好的生物陶瓷在生物医疗领域的最新应用。

关键词:氮化硅;烧结技术;致密化;力学性能;工程应用


  • DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2022.06.003

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